雙軸晶圓切割機(jī)為12英寸全自動動精密劃片機(jī),采用高精密進(jìn)口主要配件,T軸采用DD馬達(dá),重復(fù)精度1μm,穩(wěn)定性極強(qiáng)
采用進(jìn)口研磨級超高精密滾珠絲+松下伺服電機(jī)A6系列,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線度,實測0.9um采用進(jìn)口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達(dá)2μm